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產(chǎn)品

產(chǎn)品分類

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大科學工程配套真空系統(tǒng)
產(chǎn)品名稱

蒸銻臺倍增級磁控鍍膜機

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測,能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù),達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
產(chǎn)品名稱

MPO專用遮光膜鍍膜設備

該設備為高真空電子束蒸鍍設備,即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料,使其氣化并沉積在基片表面;此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金;設備由立式前開門水冷真空室、真空系統(tǒng)、工裝系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、測量及監(jiān)控系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)(機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件)等組成。
產(chǎn)品名稱

多工位真空鍍膜及封接檢測設備

設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉(zhuǎn)移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統(tǒng)。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。
產(chǎn)品名稱

(工廠)分子泵機組

產(chǎn)品名稱

(研發(fā)中心)分子泵機組

產(chǎn)品名稱

倍增級磁控鍍膜機

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能,可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測,能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù),達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
產(chǎn)品名稱

MPO專用遮光膜鍍膜設備

該設備為高真空電子束蒸鍍設備,即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料,使其氣化并沉積在基片表面;此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金;設備由立式前開門水冷真空室、真空系統(tǒng)、工裝系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、測量及監(jiān)控系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)(機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件)等組成。
產(chǎn)品名稱

超高真空排氣臺

應用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。
產(chǎn)品名稱

多工位真空鍍膜及封接檢測設備

設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉(zhuǎn)移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序,是多種運動方式同時存在的復雜系統(tǒng)。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。
產(chǎn)品名稱

紅外杜瓦真空排氣臺

該設備主要用于紅外杜瓦的真空處理,是無油、超高真空系統(tǒng),可實現(xiàn)紅外杜瓦內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、工作氣體保護、氣密性檢測等制備工藝過程的控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點。設備廣泛應用于紅外探測、航空、航天等軍工業(yè)及民用領域。
產(chǎn)品名稱

高真空排氣臺

應用于光探測器用電子玻璃材料、光敏微精玻璃等光電子玻璃產(chǎn)品的制造。
產(chǎn)品名稱

激光陀螺真空充排氣系統(tǒng)

主要用于激光陀螺諧振腔的真空處理,是無油、雙真空系統(tǒng),可實現(xiàn)陀螺諧振腔內(nèi)真空獲得、烘烤除氣、氣體充入、氣密性檢測等制備工藝手動或自動化控制,具有排氣速度快,極限真空度高等特點。設備廣泛應用于航空、航天、兵器等軍工業(yè)及民用領域。
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高真空電磁擋板閥
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