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產(chǎn)品

真空鍍膜系統(tǒng)

產(chǎn)業(yè)應用鍍膜系統(tǒng)

直線式勞埃透鏡鍍制機

直線式勞埃透鏡鍍制機，是為高能同步輻射光源（HEPS）研發(fā)的高端儀器裝備，用于制備硬X射線納米聚焦的勞埃透鏡膜層。最主要的特點是膜層層數(shù)多（數(shù)千層甚至更多）且膜層位置和厚度精度高（總位置平均誤差小于±5nm，每層的厚度誤差小于0.1nm）。為了保證每個膜層的厚度精度，采用磁控濺射技術(shù)來實現(xiàn)膜片的制備，其優(yōu)點是，能夠精確控制膜層厚度，重復性好，薄膜與基片結(jié)合緊密，薄膜純度高、致密性好。

倍增級磁控鍍膜機

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠?qū)崟r顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

MPO專用遮光膜鍍膜設備

該設備為高真空電子束蒸鍍設備，即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料，使其氣化并沉積在基片表面；此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金；設備由立式前開門水冷真空室、真空系統(tǒng)、工裝系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、測量及監(jiān)控系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)（機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件）等組成。

顯示器面板行業(yè)—ITO/金屬電極研發(fā)中試線

該設備為高真空ITO箱式鍍膜設備，主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導電膜，金屬薄膜，半導體薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉積。

中高溫集熱管鍍膜生產(chǎn)線

Φ70x4060集熱管鍍膜生產(chǎn)線，產(chǎn)線主體Φ1500x6000水冷真空腔室4段，依次為預處理室、工藝1室、工藝2室和出樣室；產(chǎn)線配移動式公自轉(zhuǎn)工裝架及工裝架閉環(huán)輸送系統(tǒng)，工裝架裝載量20只（Φ70）；工裝架閉環(huán)輸送系統(tǒng)由橫移車及直線輸送線組成，在閉環(huán)輸送系統(tǒng)中工裝架自動運行。預處理室、工藝1室?guī)Ъ訜?，加熱溫?00℃。工藝1室配2只圓柱靶或內(nèi)裝平面靶，接直流電源用于沉積底層金屬，工藝2室配2對孿生靶接中頻電源；沉積AL、Ti、Si等構(gòu)成的多層陶瓷本征吸收層；系統(tǒng)除裝卸件外，均自動運行，自動化程度較高，滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等選擇性吸熱膜的批生產(chǎn)需要。

臥式單體中高溫集熱管鍍膜設備

該設備為Φ1200x6000水冷真空腔室，配移動式公自轉(zhuǎn)工裝架，工裝架裝載量10-20只，公自轉(zhuǎn)工裝架點對點自動運行；設備帶偏壓清洗及輔助沉積功能，工藝加熱溫度300℃；設備配5只圓柱靶或內(nèi)裝平面靶；可鍍Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多種底層金屬，及由AL、Ti、Si等構(gòu)成的多層陶瓷膜；系統(tǒng)滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等多種選擇性吸熱膜的研制和小批生產(chǎn)。